クが発生するときに、大粒のスパッターが出るので、電源にイノダクタンスを入れて電流の急増を押えている。

ピンチ効果とは

溶融金属中を流れる電流によって生じる電磁力のために、溶融金属やデータが圧縮される効果をいい、この力をピンチ力という。平行する2本の導体に同一方向の電流が流れると電磁作用によって導体内に相互吸引力が生じるが、この力は一本の導体内に分布している。電流エレメントについても同様である。

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