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通信講習用 船舶電気装備技術講座 【レーダー】基礎理論編

 事業名 船舶の電気装備に関する技術指導
 団体名 日本船舶電装協会 注目度注目度5


6・2 ICの構造

ICを作る方法は、ある種のトランジスタの製作とかなりの部分で共通性がある。すなわち、原料のけい石から高純度のシリコンを精製して、更にそれを単結晶にする。この単結晶のシリコンを薄く輪切りにして、表面を鏡面仕上げする(これをウエハーという)が、これをそのまま使う方法と、エピタキシャル成長(epitaxial growth)と称して、シリコンの単結晶を反応管の中に入れて加熱し、四塩化けい素(SiCl4)と水素(H2)の混合ガスを送り込んで、その表面にシリコンを析出させて層を作る方法とがある。

この前記混合ガスの水素の代わりに炭酸ガス(CO2)を使用すると、シリコンの酸化膜(SiO2)が成長する。

こうして作ったシリコンの酸化膜に図 6・1に示すように、感光剤を塗り、これに写真の感光をさせて現像をすると、露光をしていない感光剤は溶け去るので、その後、蝕刻液でその部分の酸化膜を溶かして、シリコン部分を露出させて、残った感光剤は除去する。こうやってできたシリコンの露出部には、ドナーやアクセプタの不純物を“部分的に”拡散させたり、SiO2の上に薄膜を付着させたりする。更に、必要に応じて電極を圧着する。

 

 

 

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