図4.1-1 反応装置図
1:反バブル、2:ゲージ、3:フローメーター、4:サーマルマスフローコントローラー、5:三方コック、6:水槽、7:バブラー、8:四方コック、9:圧力計、10:電気炉・リアクター、11:トラップ、12:ガスクロマトグラフ、13:化学発行光式NOxアナライザー、14:石鹸膜流量計
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