・発電設備用高機能メンテナンス技術開発

・生産装置、生産ラインを小型化するマイクロファクトリ技術開発

・医療応用マイクロマシン技術開発

第1期(1991年度から1995年度)では要素技術の研究開発が行われ、具体的には、動きを造りだす駆動装置であるアクチュエーターや、センサー、エネルギー供給技術、デバイス加工組立技術などに関して研究開発が実施された。これまでに、世界最小直径5.5mmの自走型配管検査マシン、世界最小直径1.2mmの発電機の開発や、表面粗さが0.058μmで浮き彫りができるマイクロ超精密加工に成功している。第2期(1996年度から2000年度)では、デバイス技術のさらなる高度化、デバイスを組み合わせ集積化するシステム化技術、デバイスやシステムの評価技術の体系化を目指して研究が進められている。

　

表3.2.4-1　LIGAプロセスによる代表的な試作事例

　

2]　バイオマイクロマシン

生物のもつ機械的な仕組みをバイオマイクロマシンとして研究がなされている。代表的なものとしては、バクテリアの一種であるサルモネラ菌が、鞭毛をモーターのように回転させ運動する機構やそのエネルギー供給方法の研究およびアクチン、ミオシンという2つのタンパク質によるアクチュエーター機構と考えられている筋肉の収縮機構のより詳細な解明を行うことが挙げられる。

　

^注4)電圧をかけた際に力学的歪みが生じる圧電効果が著しい結晶であり、振動子などに利用されている。

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